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UV LED在线式晶圆自动扫码解胶机
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UV LED在线式晶圆自动扫码解胶机

UVLED解胶机是用来解除UV胶膜和切割膜胶带之间粘结的全自动解胶设备。许多晶圆半导体行业在生产过程中,需要先把晶圆切片用划片胶固定起来,然后进行划片加工处理,最后通过UVLED光源对固定好的晶圆切片进行照射,使晶元切片上的UV胶膜发生硬化,从而降低与切割膜胶带之间的粘性,从而达到轻松将胶带从晶圆切片上取下来。

UVLED解胶机解决了晶圆行业、玻璃制品和陶瓷切割上的解胶工序。


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uvled自动扫码解胶机的特点

1、 设备小巧,适合6/8/10/12寸晶圆芯片整片照射使用;

2、智能控制面板,可自由设定照射时间和功率大小;

3、照射模式,自下往上照射,方便晶圆切片放置和取出;

4、 使用寿命是普通UV汞灯的10倍以上,平均使用寿命约为20000h;

5、无需维护成本,无需频繁更换光源照射头;

6、采用封闭式模块设计,在线/手动模式,可自动录入实时解胶数据

7、LED冷光源照射模式,具有温度低、曝光均匀、结构紧凑、低能耗、是半导体行业的理想机型,且低温对热敏材料无损害,是一种安全环保型产品。

UV解胶机在晶圆封装行业广泛使用,像陶瓷切割、玻璃加工等工艺都能用到紫外解胶工序,也有一些光学镜头、LED集成芯片、线路板等半导体材料UV脱胶也都可以使用到。

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